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J-GLOBAL ID：200903068291660079
圧電アクチュエータ用振動体
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994069823
Publication number (International publication number)：1995283454
Application date： Apr. 07, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：
【要約】【目的】 圧電素子と弾性体の固着を良好にし、圧電アクチュエータ用振動体の接着剤による振動の吸収を低減し、エネルギー変換効率を高める。【構成】 圧電素子1と弾性体4を接着して得られる圧電アクチュエータ用振動体において、圧電素子1の弾性体4に対する面の面粗度を粗くし、接着剤で接着し固定する構造により振動体を構成する。面粗度を粗くする方法としてエッチング、ブラスティングまたはポリッシングを行う。
Claim (excerpt)：
圧電素子と弾性体からなる圧電アクチュエータ用振動体において、弾性体に接する圧電素子の表面の面粗度がRmaxで5μmより大きいことを特徴とする圧電アクチュエータ用振動体。
IPC (6)：
H01L 41/09
, B06B 1/06
, H01L 21/304 301
, H01L 21/304 321
, H01L 41/22
, H02N 2/00
H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
