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J-GLOBAL ID：200903068300217990

静電マイクロリレー

Inventor： 古村 由幸 ,  坂田 稔 ,  積 知範
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997268591
Publication number (International publication number)：1999111146
Application date： Oct. 01, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 初期動作,復帰動作において所望の動作速度を有し、所望の接点圧を確保できる駆動電圧の低い静電マイクロリレーを提供することにある。【解決手段】 前記アクチュエータ20が、前記ベース10に立設したアンカ21の上面縁部から側方に延在する第1薄板梁部22と、この第1薄板梁部22の自由端から両側へ同一軸心上に延在する一対の第2薄板梁部23と、この第2薄板梁部23に回動可能に連結された可動電極25とからなる。そして、一対の第2薄板梁部23,23の中間に位置する前記第1薄梁部22の下面に可動接点28を設けた。

Claim (excerpt)：

ベースに設けた固定電極と、このベースの上面に固定したアクチュエータの可動電極との間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動電極を駆動し、前記ベースに設けた固定接点に前記アクチュエータに設けた可動接点を接離させて電気回路を開閉する静電マイクロリレーにおいて、前記アクチュエータが、前記ベースに立設したアンカと、このアンカの上面縁部から側方に延在する第1薄板梁部と、この第1薄板梁部の自由端から両側へ同一軸心上に延在する一対の第2薄板梁部と、この第2薄板梁部に回動可能に連結された可動電極とからなり、前記第1薄板梁部の自由端下面に可動接点を設けたことを特徴とする静電マイクロリレー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 静電型可動接点素子および静電型可動接点集積回路
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-019782   Applicant：日本電信電話株式会社
• 梁およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-009467   Applicant：シャープ株式会社