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J-GLOBAL ID：200903068300489477

多数のワークピースを超臨界処理する方法及び装置

Inventor： ビバーガー,マキシミリアン エー. ,  レイマン,フレデリク ポール ,  ストン,トーマス ロバート
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001535218
Publication number (International publication number)：2003513466
Application date： Nov. 01, 2000
Publication date： Apr. 08, 2003
Summary：

【要約】多数のワークピースの超臨界処理装置は、移送モジュールと、第一及び第二の超臨界処理モジュールと、ロボットとを備えている。移送モジュールは入口を有する。第一及び第二の超臨界処理モジュールは移送モジュールに連結されている。ロボットは移送モジュール内に好ましくは配置されている。操作時において、ロボットは第一ワークピースを移送モジュールの入口から第一超臨界処理モジュールへ移送する。ロボットは、第二ワークピースを入口から第二超臨界処理モジュールへ移送する。ワークピースを処理した後、ロボットは第一及び第二のワークピースを移送モジュールの入口へ戻す。あるいは、超臨界処理装置は、移送モジュールに連結されたさらなる超臨界処理モジュールを有する。

Claim (excerpt)：

a)入口を有する移送モジュールと、 前記移送モジュールに連結された第一及び第二の超臨界処理モジュールと、 前記移送モジュールに連結され、かつ前記入口と前記第一の超臨界処理モジュールの間で第一のワークピースを移動させるように構成され、かつ前記入口と前記第二の超臨界処理モジュールの間で第二のワークピースを移動させるように構成された移送機構とを備えた、第一及び第二のワークピースを超臨界処理する装置。

IPC (7)：

H01L 21/3065 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 645 ,  H01L 21/304 647 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304

FI (7)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/304 645 A ,  H01L 21/304 647 A ,  H01L 21/304 648 K ,  H01L 21/304 648 L ,  H01L 21/302 104 H ,  H01L 21/30 572 B

F-Term (15)：

2H096AA25 ,  2H096GA21 ,  2H096GA60 ,  2H096LA01 ,  2H096LA02 ,  5F004AA09 ,  5F004BA19 ,  5F004BB18 ,  5F004BC06 ,  5F004BD01 ,  5F004CA02 ,  5F004DA00 ,  5F004DB26 ,  5F046MA07 ,  5F046MA10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 減圧・常圧処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-148485   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• 特表平6-500427
  
• 特開平2-209729