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J-GLOBAL ID：200903068354984325
プラズマディスプレイパネル作製方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内田 亘彦 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997227773
Publication number (International publication number)：1999067075
Application date： Aug. 25, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 PDP作製時間を短縮でき、歩留りを向上させる。【解決手段】 第1のPDP作製方法は、電極付のガラス基板20上に感光性誘電体層形成層13を積層した後、マスクを介して誘電体層形成層を露光し、誘電体層露光パターン13′を形成する第1工程、無機成分、熱可塑性樹脂からなる障壁形成層14、耐サンドブラスト感光性層16を順次積層した後、マスク22を介して耐サンドブラスト感光性層16を露光し、障壁露光パターン16′を形成する第2工程、耐サンドブラスト感光性層16′をマスクとしてサンドブラスト加工し、障壁形成層14および誘電体層形成層13′を同時に形成する第3工程からなり、第2のPDP作製方法は、第1の方法の第2工程後に、耐サンドブラスト感光性層16を現像処理し、障壁パターン状のマスクを形成した後、サンドブラスト加工に付するものである。
Claim (excerpt)：
(1) 電極付のガラス基板上に、少なくともガラスフリットからなる無機成分及び感光性樹脂とからなる誘電体層形成層を積層した後、誘電体層パターンを有するマスクを介して誘電体層形成層を露光し、誘電体層形成層に誘電体層露光パターンを形成する第1工程、(2) 該露光後に、誘電体層形成層上に、少なくともガラスフリットからなる無機成分、熱可塑性樹脂からなる障壁形成層、少なくともガラスフリットからなる無機成分及び感光性樹脂とからなる耐サンドブラスト感光性層を順次積層した後、障壁パターンを有するマスクを介して耐サンドブラスト感光性層を露光し、耐サンドブラスト感光性層に障壁露光パターンを形成する第2工程、(3) 該露光後、露光処理された耐サンドブラスト感光性層をマスクとして障壁形成層および誘電体層形成層をサンドブラスト加工し、障壁パターンに応じた障壁形成層および誘電体層パターンに応じた誘電体層形成層を同時に形成する第3工程、とからなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル作製方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J 9/02 F
, B24C 1/04 C
