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J-GLOBAL ID：200903068368086966

荷電ビーム用レンズ構体

Inventor： 岡山 重夫 ,  伊藤 匡
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  日本電子テクニクス株式会社 ,  日本電子株式会社
Agent (2)： 井島 藤治 (外2名) ,  井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992140600
Publication number (International publication number)：1993334979
Application date： Jun. 01, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 電極の光軸方向位置及び同心度とも高精度なアライメントを実現する荷電ビーム構体を提供する。【構成】 円筒状の内面を有するハウジング50内に開口電極31〜35が配置されている。46は各四極子電極51〜54間の回転を規制するための通しシャフトであり、31〜35は開口電極である。開口電極31〜35間には、上面と下面の平行度が高精度となるように製作された第1のスペーサ36〜39が配置されており、開口電極31〜35の軸方向位置が規制されている。開口電極35とハウジング50との間には第3のスペーサ59によって所定の位置に位置づけられたボール状のセラミック製第2スペーサ44が配置され、開口電極35は軸方向位置とは独立に、ハウジングに対して高精度で軸合わせされる。

Claim (excerpt)：

電極または磁極となる複数のレンズ極と、円筒状の内面を有し前記複数のレンズ極を収容するハウジングと、前記複数のレンズ極間に配置されこれらレンズ極の軸方向の位置を合わせるための第1のスペーサと、前記ハウジングの内面と前記レンズ極の円形外周面との間に配置されたボール状または円柱状の複数の第2のスペーサを備え、第2のスペーサが前記レンズ極を取り囲んで配置されることにより前記レンズ極が前記ハウジングに対して軸合わせされていることを特徴とする荷電ビーム用レンズ構体。

IPC (3)：

H01J 37/12 ,  H01J 37/143 ,  H01J 37/15