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J-GLOBAL ID：200903068370552265

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

Inventor： 渋谷 眞人 ,  小松田 秀基 ,  谷津 修
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001057790
Publication number (International publication number)：2002222761
Application date： Mar. 02, 2001
Publication date： Aug. 09, 2002
Summary：

【要約】【課題】 波面分割型のオプティカルインテグレータにおいて実質的に光量損失することなく、照明条件をほぼ連続的に変化させることのできる照明光学装置。【解決手段】 光源(1)からの光束に基づいて被照射面(M)を照明するための照明光学装置。光源と被照射面との間の光路中に配置されて、二次元的に配列された多数の微小レンズ要素を有する波面分割型のオプティカルインテグレータ(6)と、オプティカルインテグレータと被照射面との間の光路中に配置された導光光学系(7)とを備えている。オプティカルインテグレータの入射面位置には、リレー光学系(5)を介して、虚像としての所定形状の二次光源が形成される。

Claim (excerpt)：

光源からの光束に基づいて被照射面を照明するための照明光学装置において、前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置されて、二次元的に配列された多数の微小レンズ要素を有する波面分割型のオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータと前記被照射面との間の光路中に配置された導光光学系とを備え、前記オプティカルインテグレータの入射面位置には、虚像としての所定形状の二次光源が形成されることを特徴とする照明光学装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G02B 3/00 ,  G02B 19/00 ,  G02B 27/18 ,  G03F 7/20 521

FI (5)：

G02B 3/00 A ,  G02B 19/00 ,  G02B 27/18 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

F-Term (6)：

2H052BA02 ,  2H052BA07 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB27