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J-GLOBAL ID：200903068442179963

動圧気体軸受構造および光偏向走査装置

Inventor： 村部 馨 ,  片山 哲也 ,  小村 修 ,  中杉 幹夫 ,  蕗田 卓 ,  佐藤 一身
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社 ,  キヤノン株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996044464
Publication number (International publication number)：1997014257
Application date： Mar. 01, 1996
Publication date： Jan. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】 より高速度で安定して回転することが可能な動圧気体軸受構造およびそれを備えた光偏向走査装置を実現する上で、回転駆動部のシャフトの外周面の形状を簡単にする。【解決手段】 動圧気体軸受構造は、円柱状のシャフト1と、そのシャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する中空円筒状のスリーブとを回転駆動部に備える。シャフト1とスリーブとは窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成される。シャフトの外周面101は、その外周面に沿う円周に対して等しい間隔で少なくとも3箇所102,103,104に、配置された平面部分105を含む。平面部分105は、円周方向に所定の角度をなして連続してシャフトの外周面101に形成された複数個の単一平面105a,105b,105cから構成される。単一平面はシャフトの軸方向にほぼ平行に延在するように形成される。

Claim (excerpt)：

窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成された円柱状のシャフトと、前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する、窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成された中空円筒状のスリーブとを備え、前記シャフトの外周面は、その外周面に沿う円周に対して等しい間隔で少なくとも3箇所配置された平面部分を含み、前記平面部分は、前記円周方向に所定の角度をなして連続して前記シャフトの外周面に形成された複数個の単一平面から構成されており、前記単一平面は、前記シャフトの軸方向にほぼ平行に延在するように形成されている、動圧気体軸受構造。

IPC (3)：

F16C 17/02 ,  F16C 33/24 ,  G02B 26/10 102

FI (3)：

F16C 17/02 A ,  F16C 33/24 A ,  G02B 26/10 102

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 偏向走査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-034106   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開昭58-224324
  
• 特開昭58-163818