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J-GLOBAL ID：200903068457863577
カラ-フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992240573
Publication number (International publication number)：1994094638
Application date： Sep. 09, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】この発明は、正常部と欠陥部のコントラスト比が向上し、高精度の検査が可能となるカラ-フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源を提供することを目的とする。【構成】この発明のカラ-フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源は、透明基板上に赤,緑,青の着色層を形成したカラ-フィルタ1を、検査用光源2からの透過光により着色層の欠陥の有無を検査する場合、検査用光源として、そのスペクトルピ-ク値が590(±20)nm、又は510(±20)nmにあるものの少なくとも一方を使用することにより、上記の目的を達成することが出来る。
Claim (excerpt)：
透明基板上に赤,緑,青の着色層を形成したカラ-フィルタを、検査用光源からの透過光により上記着色層の欠陥の有無を検査するカラ-フィルタの検査方法において、上記検査用光源として、そのスペクトルのピ-ク値が590(±20)nm、又は510(±20)nmにあるものの少なくとも一方を使用することを特徴とするカラ-フィルタの検査方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
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カラーフイルターの検査方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-259261
Applicant：シヤープ株式会社
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