Pat

J-GLOBAL ID：200903068467451676

光酸発生型のN-ショウノウスルホニルオキシ置換マレイミドの共重合体及びその製造方法

Inventor： 安 光 徳 ,  鄭 燦 文
Applicant, Patent owner： 財団法人韓国科学技術研究院
Agent (1)： 津国 肇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997022774
Publication number (International publication number)：1997227634
Application date： Feb. 05, 1997
Publication date： Sep. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 光酸発生基と酸反応基が同じ高分子鎖に結合した1成分系レジスト高分子を提供すること。【解決手段】 式(I)で示される単量体及び式(II)、(III) 及び(IV)で示される単量体の一種又は二種から得られる共重合体。【化7】上記式中、Xは、ショウノウ-10-スルホニル基を表し、Yは、-H、-OH、-COOBu-t、-OCOOBu-t、-OBu-tなどを表し、Zは、パラ位若しくはメタ位置換の、-OCOOBu-t、-CH3 、-Clなど表す。

Claim (excerpt)：

式(I):【化1】(式中、Xは(+)-ショウノウ-10-スルホニル、(-)-ショウノウ-10-スルホニル、又は(±)-ショウノウ-10-スルホニル基を表す)で示される単量体と、式(II)、(III)及び(IV):【化2】(上記式中、Yは、-H、-OH、-COOBu-t、-OCOOBu-t、-OBu-t、-OSi(CH3)3 Bu-t、又は-C6 H4 OCOOBu-tを表し、Zは、パラ位若しくはメタ位置換の、-OCOOBu-t、-CH3 、-Cl、-OCOCH3 、-Si(CH3)3 、-OH、又は-Hを表す)で示される単量体の一種又は二種から得られる共重合体。

IPC (3)：

C08F222/40 MNE ,  C08F212/04 MJU ,  C08F220/16 MLY

FI (3)：

C08F222/40 MNE ,  C08F212/04 MJU ,  C08F220/16 MLY