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J-GLOBAL ID：200903068509430909

重ね合せ精度測定装置

Inventor： 藤原 誠
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992242680
Publication number (International publication number)：1994069097
Application date： Aug. 19, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】 重ね合せ精度測定機において、測定誤差の要因となる光軸の傾斜の自動校正機能を有する。【構成】 光軸傾斜補正用アクチュエータ12,13を光学系内に有し、さらに光軸傾斜調整用の2500Å程度の段差、且つ両端が45°以下のなだらかな傾斜でさらに両端のエッジが精密に対称形状をしている基準パターン4を装置内に有し、光軸の傾きを自動校正する機能を備えている。

Claim (excerpt)：

光源と、第1及び第2の光学系と、撮像部と、画像処理部と、基準パターンと、アクチュエータと、補正部とを有する重ね合せ精度測定装置であって、光源は、照明用光線を照射するものであり、第1の光学系は、光線を照射用対象物の照射面に向けて直角に屈折させて照射するものであり、第2の光学系は、照射用対象物の照射面に対して垂直方向に反射する反射光を取込むものであり、第1の光学系は、照射用対象物の照射面に対しては、平行な面上に直交する2軸方向に移動可能に、照射面に対しては、垂直な面上に角回転可能に設けられ、第2の光学系は、定位置に固定されており、撮像部は、第2の光学系からの画像を取込むものであり、画像処理部は、撮像部からの画像信号を処理するものであり、基準パターンは、照射用対象物と同一高さに設置され、所望の高さに立上った定形の平坦面と、該平坦面の両端に傾斜をもって左右対称に形成されたエッジとを有し、照射用対象物と切替えて第1の光学系の照射位置に配置されるものであり、アクチュエータは、第1の光学系を直交する2軸方向及び角回転方向に変位させるものであり、補正部は、基準パターンからの反射光を撮像部及び画像処理部に通して処理した画像データに基づいて、アクチュエータにより第1の光学系及び第2の光学系を相対変位させ、両光学系相互間の光軸のずれを補正するものであることを特徴とする重ね合せ精度測定装置。

IPC (6)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/26 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/207 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00