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J-GLOBAL ID：200903068572914410

カラーフィルタアレイの製造方法

Inventor： 松崎 康二
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997219481
Publication number (International publication number)：1999068076
Application date： Aug. 14, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 低コストで、信号出力差による撮像欠陥を防止できる又は、従来より撮像欠陥を防止することのできるカラーフィルタアレイの製造方法を提供すること。【解決手段】 ウェーハW上に形成されたCCD(固体撮像装置)10の複数の画素P1 の大きさL1 に、1対1で対応する1色目のカラーフィルタ31がこの大きさL1 で形成されるように、縮小レンズ24とウェーハWとの距離Hを調節して、カラーフィルタ31となるレジスト41を露光して、パターン化する。次に、同様にして、画素P2 の大きさL2 に合うように縮小レンズ24とウェーハWとの距離Hを調節して露光することにより、2色目のカラーフィルタ32をパターン化し、同様にして、3色目のカラーフィルタ33を画素P3 の大きさL3に合うようにパターン化して、カラーフィルタアレイ30を、CCD10の上に、直接形成する。

Claim (excerpt)：

縮小投影レンズを用いてフォトマスクのパターンをウェーハ上に縮小投影して露光が行われるフォトリソグラフィ工程を用いることにより、光電変換領域の両側に形成されるゲート電極を有し、前記ウェーハ上に形成された固体撮像装置の上に、直接、形成され、受光した光のうち1つの色のみを透過し、1対1で前記固体撮像装置の画素に対応するカラーフィルタを複数、有し、全体として透過する前記色が、2色又は3色あるカラーフィルタアレイの製造方法において、前記複数の前記カラーフィルタのうち、1つの前記フォトリソグラフィ工程でパターニングされるすべての前記カラーフィルタの大きさが、製造後の前記固体撮像装置の前記画素の大きさと、ほとんど同じ大きさとなるように、前記縮小投影レンズと前記ウェーハとの距離を調節して、前記露光を行うようにしたことを特徴とするカラーフィルタアレイの製造方法。

IPC (5)：

H01L 27/14 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 27/148

FI (5)：

H01L 27/14 D ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 W ,  H01L 27/14 B