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J-GLOBAL ID：200903068579812027

計測素子、加工装置および計測方法、屈折率の計測素子

Inventor： 佐藤 敏幸 ,  高橋 義行 ,  橋本 智明
Applicant, Patent owner： 山形県
Agent (1)： 特許業務法人特許事務所サイクス
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005070022
Publication number (International publication number)：2006250826
Application date： Mar. 11, 2005
Publication date： Sep. 21, 2006
Summary：

【課題】 精密計測装置に用いることができる計測素子を提供する。【解決手段】低コヒーレント光を含む光源と、該光源からの光線を2本の光線に分岐する光分岐/合流部と、分岐された光線の一方が照射される対象物が設置されるステージ部と、前記光分岐/合流部と前記ステージ部との光路の間に設けられた光を集光する集光部と、分岐された光線の他の一方が照射されるミラー部とを有し、前記対象物からの反射光(1)と前記ミラーからの反射光(2)を前記光分岐/合流部により再度合流させて干渉させ、前記対象物またはミラーの位置を、移動させることにより、前記対象物からの反射光(2)の光路長が同一となる位置を、光路長が同一の時に振幅が最大になる干渉波形の包絡線にフィッティングした理論曲線のピークの位置から求め、さらに、前記干渉波形の位相差から対象物の位置を特定することを特徴とする、計測素子。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

少なくとも、低コヒーレント光を含む光源と、該光源からの光線を2本の光線に分岐する光分岐/合流部(A)と、前記2本に分岐された光線の一方が照射される対象物が設置されるステージ部と、前記光分岐/合流部(A)と前記ステージ部との光路の間に設けられた光を集光して照射する集光部と、前記2本に分岐された光線の他の一方が照射されるミラーが設置されたミラー部とを有し、前記対象物からの反射光(1)と前記ミラーからの反射光(2)を前記光分岐/合流部(A)により再度合流させて干渉させ、前記対象物またはミラーの位置を、それぞれ、前記対象物からの反射光(1)の光軸方向または前記ミラーからの反射光(2)の光軸方向に移動させることにより、前記対象物からの反射光(1)と前記ミラーからの反射光(2)の干渉波形を計測し、前記ミラーからの反射光(1)の光路長と前記対象物からの反射光(2)の光路長が同一となる位置を、光路長が同一の時に振幅が最大になる干渉波形の包絡線にフィッティングした理論曲線のピークの位置から求め、さらに、前記干渉波形の位相差から対象物の位置を特定することを特徴とする、計測素子。

IPC (2)：

G01B 11/00 ,  G01N 21/45

FI (2)：

G01B11/00 G ,  G01N21/45 A

F-Term (41)：

2F065AA01 ,  2F065AA30 ,  2F065AA51 ,  2F065CC10 ,  2F065CC21 ,  2F065FF51 ,  2F065GG00 ,  2F065GG04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL13 ,  2F065LL21 ,  2F065LL24 ,  2F065LL46 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ29 ,  2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ25 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK01 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10