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J-GLOBAL ID：200903068617511303

固体撮像装置

Inventor： 松田 英明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 古谷 史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003027392
Publication number (International publication number)：2004241495
Application date： Feb. 04, 2003
Publication date： Aug. 26, 2004
Summary：

【課題】本発明の目的は、水平信号線の寄生容量および配線抵抗を低減して、高速動作可能な固体撮像装置を実現することである。【解決手段】本発明の固体撮像装置は、入射光に応じた画素信号を画素単位に生成する画素配列部と、これら画素信号を画素配列の垂直方向に読み出す垂直転送部と、垂直転送部を経由した画素信号を水平方向に読み出す水平信号線とを備える。特に、この水平信号線の配線パターンは、最上層または遮光用の金属層を使用して形成されたものである。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

入射光に応じた画素信号を画素単位に生成する画素配列部と、 前記画素信号を画素配列の垂直方向に読み出す垂直転送部と、 前記垂直転送部を経由した前記画素信号を水平方向に読み出す水平信号線とを備え、 前記水平信号線の配線パターンを、最上層の金属層を使用して形成した ことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3)：

H01L27/146 ,  H01L27/14 ,  H04N5/335

FI (3)：

H01L27/14 A ,  H04N5/335 E ,  H01L27/14 D

F-Term (18)：

4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  4M118GB01 ,  4M118GB03 ,  4M118GB06 ,  4M118GB09 ,  4M118GB11 ,  4M118GB15 ,  4M118HA02 ,  4M118HA05 ,  4M118HA25 ,  4M118HA30 ,  5C024CY16 ,  5C024EX51 ,  5C024GY37

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平1-103860