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J-GLOBAL ID：200903068631852601

ケミカルフィルター

Inventor： 高岡 和千代 ,  兵頭 建二
Applicant, Patent owner： 三菱製紙株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998187473
Publication number (International publication number)：2000015046
Application date： Jul. 02, 1998
Publication date： Jan. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】本発明の課題は、有害なイオン性物質を効率よく除去するケミカルフィルターであって、クリーンルーム内の再汚染を極力防止したケミカルフィルターを提供することにある。【解決手段】本発明者らは検討した結果、有害なイオン性物質を除去するケミカルフィルターにおいて、気相中に該ケミカルフィルターから発生するガス成分のうち、フェノール性水酸基を有する化合物の揮発量が、トルエンの揮発量の二分の一以下であることを特徴とするケミカルフィルターによって上記課題を解決した。更に、有害なイオン性物質を除去するケミカルフィルターにおいて、少なくとも減圧下でフェノール性水酸基を有する化合物の揮発量が、トルエンの揮発量の二分の一以下となるまで、該ケミカルフィルターに吸着した揮発成分を除去してなることを特徴とするケミカルフィルターによって上記課題を解決した。

Claim (excerpt)：

有害なイオン性物質を除去するケミカルフィルターにおいて、気相中に該ケミカルフィルターから発生するガス成分の内、フェノール性水酸基を有する化合物の揮発量が、トルエンの揮発量の二分の一以下であることを特徴とするケミカルフィルター。

IPC (5)：

B01D 53/34 ,  B01D 53/81 ,  B01D 53/04 ,  B01D 53/14 ,  B01J 47/12

FI (4)：

B01D 53/34 B ,  B01D 53/04 A ,  B01D 53/14 A ,  B01J 47/12 E

F-Term (43)：

4D002AA33 ,  4D002AA40 ,  4D002AC10 ,  4D002BA03 ,  4D002BA04 ,  4D002CA07 ,  4D002DA70 ,  4D002EA06 ,  4D002EA20 ,  4D002GA01 ,  4D002GA02 ,  4D002GB01 ,  4D002GB02 ,  4D002GB03 ,  4D002GB04 ,  4D002GB08 ,  4D002GB20 ,  4D002HA03 ,  4D002HA10 ,  4D012CA10 ,  4D012CB01 ,  4D012CB05 ,  4D012CE02 ,  4D012CE03 ,  4D012CF02 ,  4D012CF03 ,  4D012CF04 ,  4D012CF10 ,  4D012CG04 ,  4D012CG10 ,  4D012CK05 ,  4D020AA08 ,  4D020BA21 ,  4D020BB10 ,  4D020CA05 ,  4D020CC14 ,  4D020CD03 ,  4D020DA01 ,  4D020DA02 ,  4D020DB01 ,  4D020DB02 ,  4D020DB03 ,  4D020DB04