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J-GLOBAL ID：200903068655302092

低抵抗のブラッグ反射層を備えた表面発光レーザ

Inventor： ケイス ブライアン カーヘン ,  ギルバート エー ホーキンス
Applicant, Patent owner： イーストマン・コダツク・カンパニー
Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993028718
Publication number (International publication number)：1993283808
Application date： Feb. 18, 1993
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 低抵抗で高反射率のミラー反射層を有する垂直空洞表面発光レーザを提供することを目的とする。【構成】 垂直空洞表面発光レーザ28は、特定の伝導型の下部クラッド層36、及び反対の伝導型の上部クラッド層44を含む。下部クラッド層36は、半導体基板30上に設けられ、異なる屈折率の複数周期半導体層を有し、λ/ 2ブラッグ反射層を形成するように蒸着される。上部クラッド層44は、異なる屈折率の複数周期半導体層を有し、複数層の反射層を形成するように蒸着される。

Claim (excerpt)：

1つの伝導型の半導体基板と、該半導体基板上に形成された同じ伝導型の下部クラッド層で、異なる屈折率の複数周期半導体層を有し、λ/ 2ブラッグ反射層を形成する下部クラッド層と、該下部クラッド層上に形成された半導体活性層と、該半導体活性層上に形成された反対の伝導型の上部クラッド層で、異なる屈折率の複数周期半導体層を有し、複数層の反射層を形成する上部クラッド層と、該上部クラッド層上に形成される、該上部クラッド層と同じ伝導型のキャップ層と、前記基板及び該キャップ層上に形成された電気伝導型層と、を有することを特徴とする垂直空洞表面発光レーザ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-233270
  
• 特開昭62-080364