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J-GLOBAL ID：200903068659123354

真空紫外光散乱率測定装置

Inventor： 斎藤 旬
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002019492
Publication number (International publication number)：2003214980
Application date： Jan. 29, 2002
Publication date： Jul. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】良好な真空紫外光伝搬空間を測定装置内に作るには、3時間以上の時間を要し、複数の光学部材を測定する場合、何日間もの時間を要するという問題がある。【解決手段】光学部材の散乱率を測定する散乱率測定装置であって、前記光学部材に真空紫外光を照射する装置本体と、接続手段を介して前記装置本体に接続される本体接続室とからなり、前記本体接続室の気体は、前記装置本体内部の気体とほぼ同じである構成の散乱率測定装置を提供する。

Claim (excerpt)：

光学部材の散乱率を測定する真空紫外光散乱率測定装置であって、前記光学部材に真空紫外光を照射する装置本体と、接続手段を介して前記装置本体に接続される本体接続室とからなり、前記本体接続室の気体は、前記装置本体内部の気体とほぼ同じであることを特徴とする真空紫外光散乱率測定装置。

IPC (2)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/47

FI (2)：

G01M 11/00 M ,  G01N 21/47 Z

F-Term (15)：

2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059GG00 ,  2G059GG05 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ16 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G086KK05