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J-GLOBAL ID：200903068675069378

レジスト用バインダーおよびこれを用いたレジスト

Inventor： 伊藤 浩光 ,  真柳 智之
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社 ,  三洋化成工業株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002048189
Publication number (International publication number)：2003248312
Application date： Feb. 25, 2002
Publication date： Sep. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】 低エネルギーで短時間に硬化でき、かつ、パターン形成能力(現像性)に優れるレジスト用バインダー及びレジストを提供すること。【解決手段】 ポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が5,000〜30,000である重合体(A1)およびMw60,000〜150,000である重合体(A2)を含有してなることを特徴とするレジスト用バインダー、及び、該レジスト用バインダー、着色剤及び光重合開始剤を含んでなることを特徴とするレジスト。

Claim (excerpt)：

ポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が5,000〜30,000である重合体(A1)およびMw60,000〜150,000である重合体(A2)を含有してなることを特徴とするレジスト用バインダー。

IPC (3)：

G03F 7/038 501 ,  C08F299/00 ,  G02B 5/20 101

FI (3)：

G03F 7/038 501 ,  C08F299/00 ,  G02B 5/20 101

F-Term (39)：

2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AB13 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC53 ,  2H025BC83 ,  2H025BC86 ,  2H025BC92 ,  2H025BC93 ,  2H025BJ10 ,  2H025CA00 ,  2H025CC11 ,  2H048BA02 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  4J027AA02 ,  4J027AJ01 ,  4J027AJ04 ,  4J027AJ08 ,  4J027CA03 ,  4J027CA07 ,  4J027CA10 ,  4J027CA12 ,  4J027CA14 ,  4J027CA18 ,  4J027CA19 ,  4J027CA26 ,  4J027CA27 ,  4J027CA29 ,  4J027CA34 ,  4J027CA36 ,  4J027CA38 ,  4J027CC03 ,  4J027CC04 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 感光性着色組成物及びそれを用いたカラーフィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-219677   Applicant：凸版印刷株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• フェノール樹脂の合成・硬化・強靱化および応用, 20000120, p.44-47