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J-GLOBAL ID：200903068689058620

走査型プローブ顕微鏡の自動チップ接近方法及び装置

Inventor： ジェームズ・マイケル・ハモンド ,  マーチン・アレン・クロス ,  イブ・マーチン ,  ケネス・ギルバート・ルースラー ,  ロバート・マーシャル・ストウェル
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 合田 潔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993130602
Publication number (International publication number)：1994074754
Application date： Jun. 01, 1993
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ターゲット表面に接触することなく、ターゲット表面上方に走査型プローブ顕微鏡の検出プローブを位置決めする方法を提供する。【構成】 接近方法中に、音響的相互作用及びファン・デル・ワールス相互作用のそれぞれを利用して、振動カンチレバとチップを有する検出プローブをターゲット表面上方に自動的に位置決めする非接触的な段階的方法。検出プローブは実質的に最適化されたチップ-ターゲット表面間距離まで下げられる。本システムは振動カンチレバとターゲット表面との間の力の相互作用を利用して、検出プローブをターゲット表面上方に自動的に位置決めする。

Claim (excerpt)：

振動カンチレバとチップを有する検出プローブを第1位置からターゲット表面上方に位置決めする非接触方法において、前記検出プローブが前記ターゲット表面と音響的に相互作用する領域を含む、前記ターゲット表面上方の第2位置へ、前記検出プローブを下げ、前記検出プローブが前記ターゲット表面と原子的に相互作用する領域を含む、前記ターゲット表面上方の第3の最終位置へ、前記検出プローブをさらに下げるステップからなる前記非接触位置決め方法。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G05D 3/12 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平3-040355