薄膜形成装置用部材およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川順三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997006759
Publication number (International publication number)：1998204604
Application date： Jan. 17, 1997
Publication date： Aug. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】部材表面に付着堆積する薄膜の剥離、飛散の軽減に有効な薄膜形成装置用部材を提案すること。【手段】金属製基材を覆う溶射被覆表面が、格子状の凹凸によって形造られていることが特徴である。このような溶射被覆表面の格子状凹凸形状は、凹部の最大幅(D)が1〜5mm、凸部の幅(W)が5〜100mm、および凹部の深さ(T)が1〜5mmの範囲内にあり、そして凸部表面の粗さは5〜60μmの範囲内にある。

Claim (excerpt)：

金属製基材を覆う溶射被覆表面が、格子状の凹凸にて形造られていることを特徴とする薄膜形成装置用部材。

IPC (2)：

C23C 4/12 , C23C 4/10

FI (2)：

C23C 4/12 , C23C 4/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

滑り止め鋼板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-233891 Applicant：吉川工業株式会社
成膜装置用防着板の表面処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-316126 Applicant：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
スパッタリング装置および誘電体膜の成膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-081244 Applicant：日本真空技術株式会社

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