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J-GLOBAL ID：200903068747303303
光学素子の形状安定化法及びそれを用いた光学装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991255800
Publication number (International publication number)：1993066297
Application date： Sep. 07, 1991
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】 高強度の光源を用いたときの温度上昇による光学素子の形状変化を防止した光学素子の形状安定化法及びそれを用いた光学装置を得ること。【構成】 光源からの光束を光学素子に入射させ、該光学素子を介した光束を利用するようにした光学装置において、該光学素子の温度分布を測定する温度分布測定手段と該温度分布測定手段からの信号に基づいて該光学素子を部分的に加熱し、該光学素子の熱歪みによる形状を制御する加熱手段とを設けたこと。
Claim (excerpt)：
光学素子の温度分布を温度分布測定手段で測定し、該温度分布測定手段からの信号に基づいて加熱手段により該光学素子を部分的に加熱して該光学素子の形状変化を制御したことを特徴とする光学素子の形状安定化法。
IPC (3)：
G21K 1/06
, G02B 5/10
, H01S 3/08
