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J-GLOBAL ID：200903068760058199

レプリカ回折格子

Inventor： 長野 哲也
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993289409
Publication number (International publication number)：1995140310
Application date： Nov. 18, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：

【要約】【目的】 レプリカ回折格子において基板と金属薄膜の間の接着剤の影響をなくすことを目的とする。【構成】 マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させる。そして反転接着させた金属薄膜及び接着剤層の外周に酸化クロム薄膜などの低反射膜を被覆形成したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させてなるレプリカ回折格子において、反転接着させた金属薄膜及び接着剤層の外周に金属膜を被覆形成したことを特徴とするレプリカ回折格子