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J-GLOBAL ID：200903068766623262

石英系光導波路の製造方法

Inventor： 長谷川 達志
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998248556
Publication number (International publication number)：2000075156
Application date： Sep. 02, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 石英系光導波路中に形成される不純物コロニーの発生を抑制して伝搬損失を低減させる。【解決手段】 石英ガラスを含むクラッドおよびコアを具える石英系光導波路をプラズマCVD法を用いて形成する際に、高周波電力密度を制御することにより、クラッドおよびコアの屈折率を制御する。すなわち、従来のように不純物の添加による不純物コロニーが石英ガラス中に発生しにくくなる。したがって、伝搬損失を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

基板の上側に石英ガラスをそれぞれ含むクラッドおよびコアを有する石英系光導波路をプラズマCVD法により製造するに当たり、高周波放電によりプラズマを発生させると共に、該プラズマ中の原料イオンを前記基板へ向けて加速させて前記クラッドおよびコアをそれぞれ形成する工程を具え、該工程中に前記高周波放電の高周波電力密度を制御することにより、前記クラッドおよびコアの少なくとも一方の屈折率を制御することを特徴とする石英系光導波路の製造方法。

F-Term (9)：

2H047AA04 ,  2H047CC03 ,  2H047EE05 ,  2H047EE11 ,  2H047EE17 ,  2H047EE21 ,  2H047EE24 ,  2H047GG04 ,  2H047GG07