Pat

J-GLOBAL ID：200903068796269927

表面状態検査装置

Inventor： 池田 浩志 ,  弘中 和夫 ,  梅田 裕功 ,  槙前 辰巳 ,  笹西 和人 ,  藤井 豊 ,  茂木 茂男
Applicant, Patent owner： マツダ株式会社
Agent (1)： 久力 正一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992194704
Publication number (International publication number)：1994018245
Application date： Jun. 30, 1992
Publication date： Jan. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 被検査面の形状等の影響による検査不能部分の発生を防止して、確実に検査することのできる表面状態検査装置を提供することである。【構成】 照明部1のフランジ1B側端のランプ2Bの照射光量を最大にし、フランジ1C側端のランプ2Cの照射光量を最小にしてフランジ1B,1C間の全幅にわたって所定の勾配である照射光量(直線IV)を得るから、透過率が全体に均一に形成された拡散板3を通して被検査面に照射されるとき、所定の勾配で変化する光度が得られる。各ランプ2の照射光量を調節することにより、勾配が緩い即ち最大値と最小値との格差が小さい照射光量(直線V)、或いは勾配は等しいが、全体的に減少した照射光量(直線VI)を得ることができるから、画像処理領域における走査方向端部に光度勾配が零となる部分が生じた時は、画像処理領域の全域にわたって光度勾配が光度傾斜光源に対応する所定の勾配となるように照射光量を調節することができる。

Claim (excerpt)：

光度傾斜光源から光を被検査面に照射し、被検査面からの反射光をカメラで撮影し、画像処理により表面状態を検査する表面状態検査装置であって、画像処理領域における走査方向端部の光度勾配を検出し、該端部において光度勾配が零となる部分が生じた時は、画像処理領域の全域にわたって光度勾配が所定の勾配となるように、光度傾斜光源側またはカメラ側のどちらか一方、或いは両方を制御することを特徴とする表面状態検査装置。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  B25J 13/08 ,  G01N 21/88