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J-GLOBAL ID：200903068820984420

陽極酸化皮膜を用いた水晶振動子式湿度センサ素子

Inventor： 宇恵 誠 ,  水谷 文一 ,  竹内 佐千江
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997053027
Publication number (International publication number)：1998253519
Application date： Mar. 07, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 高感度の水晶振動子式湿度センサ素子の提供。【解決手段】 電極金属薄膜-水晶板-電極金属薄膜からなる水晶振動子の、一方または両方の電極金属薄膜の表面を含水量5重量%以下の非水系化成液中で陽極酸化して電極金属薄膜面に感湿膜を形成してなる湿度センサ素子。

Claim (excerpt)：

電極金属薄膜-水晶板-電極金属薄膜からなる水晶振動子の、一方または両方の電極金属薄膜の表面を含水量5重量%以下の非水系化成液中で陽極酸化して電極金属薄膜面に感湿膜を形成してなる湿度センサ素子。