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J-GLOBAL ID：200903068871889073

X線反射用ミラー

Inventor： 竹之内 一憲
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993103131
Publication number (International publication number)：1994308294
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【構成】X線露光装置、X線顕微鏡においてシンクロトロン放射光等の高強度の光を反射させるX線反射用ミラーにおいて、その基体1を窒化アルミニウム質セラミックスで形成し、その表面に表面平滑膜2および反射膜3を形成する。【効果】基体1として高熱伝導率、高融点の窒化アルミニウム質セラミックスを用いているため反射面の平坦度を長期にわたって維持することができ、X線反射用ミラーとしての耐久性、信頼性を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

X線を反射させるミラーにおいて、基体を窒化アルミニウム質セラミックスで形成するとともに、この基体上に表面平滑膜および反射膜を備えてなるX線反射用ミラー。

IPC (4)：

G21K 1/06 ,  C04B 35/58 104 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/027