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J-GLOBAL ID：200903068873102860

光トラッププローブ近接場光顕微鏡装置及び近接場光検出方法

Inventor：
伊藤 泉

About 伊藤 泉


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Agent (1)： 小島 俊郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003421773
Publication number (International publication number)：2005181085
Application date： Dec. 19, 2003
Publication date： Jul. 07, 2005
Summary：
【課題】 本発明は、光トラッププローブを安定的に捕捉でき、かつ検出される近接場光検出信号において高いS/Nを得ることを可能とする光トラッププローブ近接場光学顕微鏡装置及び近接場光検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の光トラッププローブ近接場光学顕微鏡装置は、誘電体微小構造物(16)の表面の全体もしくは一部に金属部材(17)を設けた光トラッププローブ(15)を用い、光トラッププローブを集光光束により捕捉した上で位置走査し被検体の表面に近接させ、集光光束が光トラッププローブと被検体の表面の双方により散乱されて発生する散乱光を、あるいは被検体を通過した一部の散乱光を検出する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
誘電体微小構造物の表面の全体もしくは一部に金属部材を設けた光トラッププローブと、 該光トラッププローブを捕捉するためにレーザ光の集光光束を発生する集光光束発生手段と、 該集光光束手段による前記集光光束によって前記光トラッププローブを捕捉した状態で、被検体の表面に近接させる光トラッププローブ走査手段と、 前記集光光束が前記光トラッププローブと被検体の表面の双方により散乱されて発生する散乱光を、あるいは被検体を通過した一部の散乱光を検出する散乱光検出手段と を有することを特徴とする光トラッププローブ近接場光顕微鏡装置。
IPC (4)：
G01N13/14 ,  G01B11/30 ,  G02B21/06 ,  G02B21/32
FI (5)：
G01N13/14 A ,  G01N13/14 B ,  G01B11/30 Z ,  G02B21/06 ,  G02B21/32
F-Term (26)：
2F065AA49 ,  2F065BB07 ,  2F065DD04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065GG17 ,  2F065GG23 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL13 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2H052AA00 ,  2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC34 ,  2H052AD05 ,  2H052AD18 ,  2H052AD31 ,  2H052AF19
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 走査型近接場光学顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-205178   Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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