Pat
J-GLOBAL ID：200903068892468043
ブラスト用マスクおよびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡田 全啓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995194351
Publication number (International publication number)：1997019865
Application date： Jul. 05, 1995
Publication date： Jan. 21, 1997
Summary：
【要約】【課題】 寸法精度の高い貫通孔を有し、寿命が長く、しかも取扱いの容易なブラスト用マスクおよびその製造方法を得る。【解決手段】 ブラスト用マスク10は、剛体からなる基板12を含む。基板12の表面に、弾性体層14を形成する。基板12および弾性体層14を同一形状かつ同一寸法で共通して貫通する貫通孔16を形成する。このブラスト用マスク10を製造するには、まず、基板12上に感光性樹脂を塗布する。感光性樹脂上にパターンを重ね、光を照射して感光性樹脂に硬化部分と未硬化部分とを形成する。感光性樹脂の未硬化部分を除去し、さらにエッチングを行うことにより、貫通孔16を形成する。
Claim (excerpt)：
剛体からなる基板、前記基板の少なくとも一方面に形成される弾性体層、および前記基板および前記弾性体層を同一形状かつ同一寸法で共通して貫通する貫通孔を含む、ブラスト用マスク。
IPC (2)：
FI (3)：
B24C 1/04 C
, B24C 1/04 D
, C23F 1/00 A
