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J-GLOBAL ID：200903068894569246
レーザ走査型顕微鏡及びレーザ走査光学系の調整方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井上 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998057341
Publication number (International publication number)：1999242164
Application date： Feb. 24, 1998
Publication date： Sep. 07, 1999
Summary：
【要約】【課題】 レーザ走査光学系において簡易・確実に光軸調整を行うこと。【解決手段】 レーザ光源514からのレーザ光をレーザ走査光学系515を介して光学顕微鏡の光路に導き、対物レンズ505を介して試料に照射する。ビームスプリッタ507は、対物レンズ505を通過した透過照明系526,502,503からの照明光と、レーザ走査光学系515を通過したレーザ光とを同一光路に合成する。ビームスプリッタ507で重ね合わされた照明光とレーザ光とは、レンズ510で集光された後、CCD516に投影される。制御回路517は、CCD516からの信号に応じて、照明光とレーザ光との焦点面内における位置ずれとレーザ光のスポット径との少なくとも一方を検出し、ガルバノミラー515の角度やリレーレンズ515の位置を調整してレーザ走査光学系の光軸調整を行う。
Claim (excerpt)：
レーザ光源からのレーザ光をレーザ走査光学系を介して光学顕微鏡の光路に導き、前記光学顕微鏡の対物レンズを介して試料に照射するレーザ走査型顕微鏡において、前記光学顕微鏡は透過照明系を有し、前記対物レンズを通過した前記光学顕微鏡の透過照明系からの照明光と、前記レーザ走査光学系を通過した前記レーザ光源からのレーザ光とを同一光路に合成する光路合成手段と、前記光路合成手段によって合成された前記照明光と前記レーザ光とを集光する集光手段と、前記集光手段によって集光された前記照明光と前記レーザ光とを前記集光手段の焦点面内で受光する受光手段と、前記受光手段からの信号に応じて、前記照明光と前記レーザ光との前記焦点面内における位置ずれと前記レーザ光のスポット径との少なくとも一方を検出する検出手段と、を有することを特徴とするレーザ走査顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
G02B 21/00
, G01N 21/27 E
