Pat
J-GLOBAL ID:200903068903249454

高耐圧ショットキー・ダイオード

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 須山 佐一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993037995
Publication number (International publication number):1994252380
Application date: Feb. 26, 1993
Publication date: Sep. 09, 1994
Summary:
【要約】【目的】 リーク電流の増加や順方向の多大な電圧降下を招くことがなく、安定した動作を確実に実現することを可能にした、炭化珪素を用いた高耐圧ショットキー・ダイオードを提供する。【構成】 炭化珪素基板1上に、 n型炭化珪素層2からなる活性層を設ける。 n型炭化珪素層2上には、ショットキー電極3を接続し、炭化珪素基板1側にはオーミック電極4を接続する。ショットキー電極3は、ショットキー障壁φ<SB>B </SB>が0.868× V<SB>b </SB><SP>-0.222</SP>-(kT/q)ln{P<SB>r </SB>/ (A<SP>* </SP>・ T<SP>2 </SP>・ V<SB>b </SB>)}<φ<SB>B </SB><V<SB>F </SB>-{(3.31×10<SP>-11 </SP>/μ)V<SB>b </SB><SP>3.33</SP>+ r<SB>s </SB>}J<SB>F </SB>-(kT/q)ln{J<SB>F </SB>/ (A<SP>* </SP>・ T<SP>2 </SP>)}( V<SB>F </SB>は順方向電圧降下、 V<SB>b </SB>は降伏電圧、 J<SB>F </SB>は順方向電流密度、 P<SB>r </SB>は最大損失、 Tは温度、 r<SB>s </SB>は基板抵抗、 A<SP>* </SP>はリチャードソン定数、 kはボルツマン定数、 qは素電荷、μは移動度)の関係を満足する。
Claim (excerpt):
n型炭化珪素からなる活性層と、ショットキー障壁φ<SB>B </SB>が 0.868× V<SB>b </SB><SP>-0.222</SP>-(kT/q)ln{P<SB>r </SB>/ (A<SP>* </SP>・ T<SP>2 </SP>・ V<SB>b </SB>)}<φ<SB>B </SB>< V<SB>F </SB>-{(3.31×10<SP>-11 </SP>/μ)V<SB>b </SB><SP>3.33</SP>+ r<SB>s </SB>}J<SB>F </SB>-(kT/q)ln{J<SB>F </SB>/ (A<SP>* </SP>・ T<SP>2 </SP>)}(式中、 V<SB>F </SB>は順方向電圧降下、 V<SB>b </SB>は降伏電圧、 J<SB>F </SB>は順方向電流密度、 P<SB>r</SB>は最大損失、 Tは温度、 r<SB>s </SB>は基板抵抗、 A<SP>* </SP>はリチャードソン定数、 kはボルツマン定数、 qは素電荷、μは移動度である)を満足するショットキー電極とを具備することを特徴とする高耐圧ショットキー・ダイオード。
IPC (2):
H01L 29/48 ,  H01L 29/91
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 特開平2-264475

Return to Previous Page