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J-GLOBAL ID:200903068914582902

基板支承用側板およびそれを用いたカセット

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大石 征郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994197325
Publication number (International publication number):1996046022
Application date: Jul. 29, 1994
Publication date: Feb. 16, 1996
Summary:
【要約】【目的】 基板支承用側板の巾を狭くしても必要な強度を有し、しかも基板取り扱い時の帯電を有効に防止すると共に、たとえ帯電しても回路障害を起こすことがなく、さらには基板との摩擦によっても摩耗粉などの塵埃を生じがたいカセット、およびそのための基板支承用側板を提供することを目的とする。【構成】 基板支承用側板(2) は、構造的には、背肉部(21)から舌状の棚片(22)が所定のピッチで平行に張り出し、その棚片(22)はその遊端側にいくほど上方になるように傾斜し、その棚片(22)の棚面はその両端側よりも中央部が若干高くなるような山形構造に形成される。また材質的には、金属体(M) を骨格材としかつ背肉部(21)の少なくとも前面側および棚片(22)が樹脂体(R) で形成され、かつその樹脂体(R) のうち基板(O) との接当部の少なくとも一部は発塵防止性樹脂(Rb)で形成されると共に、樹脂体(R) の発塵防止性樹脂(Rb)以外の部分は導電性物質配合樹脂(Ra)で形成される。
Claim (excerpt):
フレーム(1) に架設して基板(O) を支承するための基板支承用側板(2) であって、該基板支承用側板(2) が、構造的には、背肉部(21)から舌状の棚片(22)が所定のピッチでカセット内部側に向けて平行に張り出し、その棚片(22)はその遊端側にいくほど上方になるように傾斜し、その棚片(22)の棚面はその両端側よりも中央部が若干高くなるような山形構造に形成され、材質的には、金属体(M) を骨格材としかつ背肉部(21)の少なくとも前面側および棚片(22)が樹脂体(R) で形成され、かつその樹脂体(R) のうち基板(O) との接当部の少なくとも一部は発塵防止性樹脂(Rb)で形成されると共に、樹脂体(R) の発塵防止性樹脂(Rb)以外の部分は導電性物質配合樹脂(Ra)で形成されていること、を特徴とする基板支承用側板。
IPC (2):
H01L 21/68 ,  B65D 85/86

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