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J-GLOBAL ID：200903068946307997

圧電薄膜振動子

Inventor： 山田 朗 ,  前田 智佐子 ,  梅村 敏夫 ,  内川 英興
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998081085
Publication number (International publication number)：1999284480
Application date： Mar. 27, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】 短い時間でかつ簡便に周波数調整することができる構造を有し、安価に製造できる圧電薄膜素子を提供する。【解決手段】 一対の励振用電極の間に圧電体薄膜を備えた圧電薄膜振動子において、一対の励振用電極の間にさらに第1誘電体薄膜を設け、圧電体薄膜の厚さと第1誘電体薄膜の厚さとを合わせた厚さに対応した周波数で共振させた。

Claim (excerpt)：

一対の励振用電極の間に圧電体薄膜を備えた圧電薄膜振動子において、上記一対の励振用電極の間にさらに第1誘電体薄膜を設け、上記圧電体薄膜の厚さと上記第1誘電体薄膜の厚さとを合わせた厚さに対応した周波数で共振させたことを特徴とする圧電薄膜振動子。