フォトレジスト用積層ポリエステルフィルム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994132000
Publication number (International publication number)：1995333853
Application date： Jun. 14, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】解像度に優れ、画像の欠陥発生を防止する高品質なフォトレジスト用二軸配向積層ポリエステルフィルムを提供する。【構成】少なくとも片側の最表層に平均粒径0.01〜3.0μmの粒子を含有する二軸配向積層ポリエステルフィルムであって、当該最表層表面のRaが0.005μm以上、Rtが1.5μm未満であり、かつフィルムヘーズが1.5%以下であることを特徴とするフォトレジスト用積層ポリエステルフィルム。

Claim (excerpt)：

少なくとも片側の最表層に平均粒径0.01〜3.0μmの粒子を含有する二軸配向積層ポリエステルフィルムであって、当該最表層表面のRaが0.005μm以上、Rtが1.5μm未満であり、かつフィルムヘーズが1.5%以下であることを特徴とするフォトレジスト用積層ポリエステルフィルム。

IPC (5)：

G03F 7/09 501 , B32B 27/36 , G03F 7/11 501 , H05K 3/00 , H05K 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特表平4-503335
特開平3-083625
特開平3-015544

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