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J-GLOBAL ID：200903068963489128

プリズムステージ

Inventor： 西川 幸一郎 ,  山本 昌邦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998068453
Publication number (International publication number)：1999264905
Application date： Mar. 18, 1998
Publication date： Sep. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】 安定してエバネッセント光を生成するプリズムステージを提供する。【解決手段】 プリズムステージは、互いに平行な第1と第2の面を有し、第1の面上には、第1の面に平行で、かつ互いに略直交する第1の光束と第2の光束に分離する手段、及び第1、第2の光束を第2の面に全反射入射させる為の第1、第2の偏向手段を有する。また、第1の光束が第1の偏向手段を経て第2の面に至る光路が作る面と第2の光束が第2の偏向手段を経て第2の面に至る光路が作る面とが略直交する。

Claim (excerpt)：

互いに平行な第1と第2の面を有し、前記第1の面上には、該第1の面に平行で、かつ互いに略直交する第1の光束と第2の光束に分離する手段、及び前記第1、第2の光束を前記第2の面に全反射入射させる為の第1、第2の偏向手段を有することを特徴とするプリズムステージ。

IPC (4)：

G02B 5/04 ,  G01N 21/27 ,  G02B 5/30 ,  G02B 21/06

FI (5)：

G02B 5/04 B ,  G02B 5/04 D ,  G01N 21/27 C ,  G02B 5/30 ,  G02B 21/06