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J-GLOBAL ID：200903068971855931

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法

Inventor： 伊藤 浩司
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999314717
Publication number (International publication number)：2001135561
Application date： Nov. 05, 1999
Publication date： May. 18, 2001
Summary：

【要約】【課題】 微動ステージについての制御帯域の広い高精度な位置制御が行えるようにする。【解決手段】 位置制御の対象物を保持して移動する微動ステージ3と、微動ステージを搭載して移動する粗動ステージ4と、粗動ステージに取り付けられたミラー2にレーザ光を照射してミラーの位置を計測する第1の位置計測手段と、微動ステージおよび粗動ステージまたはミラー間の相対位置を計測する第2の位置計測手段と、第1および第2の位置計測手段による計測位置に基づいて微動ステージおよび粗動ステージの位置を制御する位置制御手段とを具備する。

Claim (excerpt)：

位置制御の対象物を保持して移動する微動ステージと、この微動ステージを搭載して移動する粗動ステージと、前記粗動ステージに取り付けられたミラーにレーザ光を照射して前記ミラーの位置を計測する第1の位置計測手段と、前記微動ステージおよび粗動ステージ間の相対位置を計測する第2の位置計測手段と、前記第1および第2の位置計測手段による計測位置に基づいて前記微動ステージおよび粗動ステージの位置を制御する位置制御手段とを具備することを特徴とするステージ装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 3/12 305

FI (4)：

G03F 7/20 521 ,  G05D 3/12 305 E ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 515 G

F-Term (22)：

5F046BA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CC01 ,  5F046CC16 ,  5F046CC17 ,  5F046DA30 ,  5F046DB04 ,  5F046DC12 ,  5H303AA06 ,  5H303BB03 ,  5H303BB09 ,  5H303BB12 ,  5H303BB17 ,  5H303CC01 ,  5H303CC04 ,  5H303DD04 ,  5H303DD12 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF06 ,  5H303GG13 ,  5H303GG20