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J-GLOBAL ID：200903068978118479
塗布ノズルおよび塗布装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小谷 悦司 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997201889
Publication number (International publication number)：1999042457
Application date： Jul. 28, 1997
Publication date： Feb. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】 基板とノズル部材間に間隔差があっても均一な塗布膜厚を得、かつ塗布時のメニスカスカーブの上昇を抑える。【解決手段】 基板2とノズル部材19の前端面上部29との隙間30が上方ほど広がるようにしているため、基板2とノズル部材19の間隔が小さいほど、塗布時にメニスカスカーブDが形成される前端面上部29の上昇液面位置におけるギャップ寸法は広がり、また、その間隔が大きいほどその上昇液面位置におけるギャップ寸法は狭くなるので、基板2と前端面27との間隔に差がある場合にも、その上昇液面位置での基板2と前端面上部29とのギャップ寸法は同等となり、常に均一な塗布膜厚となる。また、前端面上部29が傾斜しているので、塗布時のメニスカスカーブの上昇もなく、塗布液によって濡れる前端面上部の面積も狭くなって前端面上部29を高くする必要はなくなる。
Claim (excerpt)：
斜め上方に延びる塗布液流出路が前面壁部に配設され、この前面壁部の前端面に、前記塗布液流出路の一端が連通された外部流出口が配設され、毛管現象で塗布液流出路を介して汲み上げられた塗布液を前記外部流出口から供給して基板の被塗布面に塗布可能な塗布ノズルにおいて、前記前端面の外部流出口の上方に位置する前端面上部が、前記基板の被塗布面との間隔が上方ほど広がるように前端面下部に対して傾斜した傾斜面で構成されていることを特徴とする塗布ノズル。
IPC (5)：
B05C 5/02
, B05C 11/08
, G02F 1/13 101
, G03F 7/16 501
, H01L 21/027
B05C 5/02
, B05C 11/08
, G02F 1/13 101
, G03F 7/16 501
, H01L 21/30 564 Z
