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J-GLOBAL ID：200903068982448980

情報記録基板の製造方法

Inventor： 近藤 哲也
Applicant, Patent owner： 日本ビクター株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992105719
Publication number (International publication number)：1993282713
Application date： Mar. 31, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 壁面がテーパー状のピットを有する情報記録基板の製造方法を提供するものである。【構成】 ガラス基板(1)上に情報に応じたレジストパターン(2)を形成し、レジストパターンをマスクとして酸素を含むプラズマガス(エッチングガス)中でガラス基板をエッチングする。ガラス基板とともにレジストパターン自体もエッチングされて、壁面がテーパー状のピット(3)がガラス基板に形成される。 酸素濃度が高くなるにつれて、レジスト(パターン)のエッチングレートが大きくなり、テーパーが付いていく。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上に情報に応じたレジストパターンを形成し、前記レジストパターンをマスクとして酸素を含むプラズマガス中で前記ガラス基板をエッチングして、前記ガラス基板に前記レジストパターンに応じ、かつ、壁面がテーパー状のピットを形成したことを特徴とする情報記録基板の製造方法。

IPC (2)：

G11B 7/26 501 ,  G11B 7/24 561