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J-GLOBAL ID:200903069016356480

窒化アルミニウム回路基板

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996336718
Publication number (International publication number):1998178257
Application date: Dec. 17, 1996
Publication date: Jun. 30, 1998
Summary:
【要約】【課題】 パワーモジュール用等の発熱の大きい用途に回路基板を用いた場合、ヒートサイクル等により、金属回路上のニッケルメッキの影響で発生する残留応力により、クラックを生じ易い問題があった。本発明はクラック発生の少なく信頼性の高い回路基板を提供する。【解決手段】 窒化アルミニウム基板上に銅等の金属回路が接合形成されており、金属回路の表面にニッケルメッキがされている回路基板であって、該金属回路端部側面のメッキ厚さの最大値が1.5μm以上5μm以下であり、しかも金属回路端部側面のメッキ厚さの最大値と最小値の比を1以上3以下とすることにより耐ヒートサイクル性に優れた窒化アルミニウム回路基板を得る。
Claim (excerpt):
窒化アルミニウム板上にメッキ層を有する金属回路が設けてなる窒化アルミニウム回路基板であって、該金属回路端部側面のメッキ厚さの最大値が1.5μm以上5μm以下であり、しかも金属回路端部側面のメッキ厚さの最大値と最小値の比が1以上3以下であることを特徴とする窒化アルミニウム回路基板。
IPC (2):
H05K 3/24 ,  H05K 1/03 610
FI (2):
H05K 3/24 A ,  H05K 1/03 610 E
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平3-165590
  • 特開平4-144190

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