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J-GLOBAL ID：200903069031403028

エッチング終点検出方法及びエッチング装置

Inventor： 宮崎 俊也 ,  速水 利泰 ,  中司 忠男 ,  田中 宏幸 ,  中村 敏幸
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995306152
Publication number (International publication number)：1996232087
Application date： Nov. 24, 1995
Publication date： Sep. 10, 1996
Summary：

【要約】【課題】 正確にエッチング終点を検出することが可能なエッチング終点検出方法及びその実施に使用するエッチング装置を提供すること。【解決手段】 サンプリング区間kTにおける時系列データを平均化し(Vave)、係数AGFを求める。この係数AGFを時系列データに乗じ、定数Cを差し引く。そして所定値Gを乗じる。

Claim (excerpt)：

プロセスガス及び高周波電力を利用したプラズマエッチング処理中に発せられるプラズマ光の光量を検出し、該光量の経時的変化からエッチング終点を検出する方法において、前記光量に対応する信号の時系列データを得、該時系列データを演算処理して、光量変化量を補正し、補正後の時系列データからエッチング終点を検出することを特徴とするエッチング終点検出方法。

IPC (3)：

C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (5)：

C23F 4/00 F ,  C23F 4/00 A ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 E ,  H01L 21/302 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-094629
  
• 特開昭62-159431
  
• 特開昭62-095829
  
• 特開昭61-264728