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J-GLOBAL ID：200903069041281109

フィルムの厚さと屈折率を測定するための測定方法及び測定装置

Inventor： シャリーニ・ヴェンカテシュ ,  ウエイン・ヴィー・ソリン
Applicant, Patent owner： ヒューレット・パッカード・カンパニー
Agent (1)： 上野 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996190180
Publication number (International publication number)：1997072723
Application date： Jul. 19, 1996
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】透過フィルムの屈折率と厚さとを測定する。【解決手段】低コヒーレンス光源12からファイバ13を介して第1の入射角でフィルム15の上部表面に向かって第1の光信号を送り、鏡11で反射して前記上部表面を出る光をファイバ13で集める。同じく、ファイバ14を介して前記第1の入射角とは異なる第2の入射角で前記フィルム15の前記上部表面に向かって前記第2の光信号を送り、前記フィルム15の前記上部表面を出る光をファイバ14で集める。ファイバ13、14で集められた光を結合し、前記フィルム15の上部表面から反射する光と下部表面から反射する光との間における時間遅延を求める。

Claim (excerpt)：

上部表面と下部表面を備える透過フィルム[15]の厚さを測定するための装置[10、100]において、低コヒーレンス光源[12]から第1のプローブ光信号と第2のプローブ光信号を発生するための手段[16、162]と、第1の入射角で前記フィルム[15]の前記上部表面に向かって前記第1のプローブ光信号を送り、前記フィルム[15]の前記上部表面を出る光を集める第1の方向づけ手段[13]と、前記第1の入射角とは異なる第2の入射角で前記フィルム[15]の前記上部表面に向かって前記第2のプローブ光信号を送り、前記フィルム[15]の前記上部表面を出る光を集める第2の方向づけ手段[14]と、前記第1の方向づけ手段及び前記第2の方向づけ手段によって集められた前記光を結合して、集光信号を形成するための手段[16、162]と、前記集光信号を受信して、前記集光信号から、前記フィルム[15]の前記上部表面から反射する光と下部表面から反射する光との間における時間遅延を求めるための受信器「18」とから構成される測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/45

FI (2)：

G01B 11/06 G ,  G01N 21/45 A