Pat

J-GLOBAL ID：200903069057613659

パターン計測方法およびパターン計測装置

Inventor： 木村 栄雄 ,  武川 正樹
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大菅 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999135151
Publication number (International publication number)：2000321032
Application date： May. 17, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】 直交座標系に対して未知の傾斜角度を有するパターンのパターン情報を自動的にかつ正確に計測することができるパターン計測方法およびパターン計測装置を提供することを課題とする【解決手段】 パターン情報検出系により、直線状の被計測パターンの第1のパターン情報を検出し、上記検出した上記第1のパターン情報に基づき、上記被計測パターンの長手方向を判断し、上記判断した上記被計測パターンの長手方向に基づき、上記パターン情報検出系と上記被計測パターンとの相対位置を変更し、上記パターン情報検出系により、上記被計測パターンの第2のパターン情報を検出する。このことにより、直交座標系に対して未知の傾斜角度を有した被計測パターンであっても、その被計測パターンに関する線幅等のパターン情報を自動的にかつより正確に計測することができる。

Claim (excerpt)：

パターン情報検出系により、直線状の被計測パターンの第1のパターン情報を検出し、該検出した該第1のパターン情報に基づき、該被計測パターンの長手方向を判断し、該判断した該被計測パターンの長手方向に基づき、該パターン情報検出系と該被計測パターンとの相対位置を変更し、該パターン情報検出系により、該被計測パターンの第2のパターン情報を検出することを特徴とするパターン計測方法。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G06K 7/015 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01B 11/24 F ,  G06K 7/015 B ,  H01L 21/66 J ,  G01B 11/24 K

F-Term (39)：

2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065AA12 ,  2F065AA20 ,  2F065AA21 ,  2F065AA31 ,  2F065AA37 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC17 ,  2F065EE00 ,  2F065FF41 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065MM11 ,  2F065NN20 ,  2F065PP05 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106BA04 ,  4M106BA05 ,  4M106CA39 ,  4M106DB08 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ11 ,  5B072CC16 ,  5B072CC24 ,  5B072DD02 ,  5B072KK08