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J-GLOBAL ID:200903069089091565
集積型光カップラとその製造方法及びその使用法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
加藤 一男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992331000
Publication number (International publication number):1994160653
Application date: Nov. 17, 1992
Publication date: Jun. 07, 1994
Summary:
【要約】【目的】光カップラ部以外が埋め込まれて、波面分割型の分岐、結合を行なう集積型光カップラとその製造方法である。【構成】リッジ構造などを持つチャンネル光導波路構造1に光波の結合、分岐を行なう為の集積型の光カップラ部2が設けられる。チャンネル光導波路1を形成する際に、光カップラ部2のミラー3a,3bの形成も同時に行ない、その後、カップラを構成するカップラ部2以外の部位を埋め込み部4で埋め込み、波面分割型の分岐、結合を行なう。
Claim (excerpt):
半導体基板上に構成された複数のチャンネル光導波路構造に、光波の結合・分岐を行なう為に構成された集積型の光カップラにおいて、光カップラ部以外が半導体層で埋め込み成長されて、光波の分岐、結合を行なうことを特徴とする集積型光カップラ。
IPC (3):
G02B 6/12
, H01S 3/18
, H04B 10/02
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