Pat
J-GLOBAL ID：200903069099816770
X線検査装置、及び該X線検査装置の使用方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002381732
Publication number (International publication number)：2004212200
Application date： Dec. 27, 2002
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：
【課題】小型・高密度化するBGAやCSPなどの電子部品の基板への実装状態を総合的に判断することのできるX線検査装置を提供すること。【解決手段】試料Sを挟んで、X線を放射するX線源a1とX線を検出するX線検出器12とが対向して配置され、X線源a1から放射され、試料Sを透過したX線がX線検出器12にて検出されるように構成されたX線検査装置において、X線検出器12のX線受光面b1を、X線受光面b1を含む所定の面(面T1と平行な面)上に維持させたまま、なおかつX線受光面b1上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、X線検出器12を面T1と直交する直線L1を中心として円形に運動させる円形運動手段21と、X線源a1を直線L1を中心として、X線検出器12に同期させて円形に運動させる円形運動手段18とを装備する。【選択図】 図14
Claim (excerpt)：
試料を挟んで、X線を放射するX線源とX線を検出するX線検出器とが対向して配置され、前記X線源から放射され、前記試料を透過したX線が前記X線検出器にて検出されるように構成されたX線検査装置において、
前記X線検出器のX線受光面を、該X線受光面を含む所定の面上に維持させたまま、なおかつ前記X線受光面上のある2点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、前記X線検出器を前記所定の面と直交する第1の直線を中心として円形に運動させる第1の運動手段と、
前記X線源を前記第1の直線を中心として、前記X線検出器に同期させて円形に運動させる第2の運動手段とを備えていることを特徴とするX線検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N23/04
, G06T1/00 400D
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001GA13
, 2G001JA01
, 2G001JA06
, 2G001JA20
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 5B047AA12
, 5B047BC14
, 5B047CA14
