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J-GLOBAL ID：200903069099909345

原子間力顕微鏡装置

Inventor： 宮本 雅彦 ,  黒田 亮 ,  相原 克紀 ,  河田 春紀
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992305934
Publication number (International publication number)：1994129847
Application date： Oct. 21, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 固体表面の構造や三次元形状、更には二次電子情報をも評価可能な原子間力顕微鏡装置を提供する。【構成】 カンチレバー1により支持された導電性材料からなる探針2と、該探針を電界放射源として試料4表面に電子線を照射させる手段であるところの電位差発生・制御機構13と、試料4表面から発生する二次電子7を検出並びに処理する手段9,11を具備する原子間力顕微鏡装置。【効果】 試料表面の総合的な分析・評価を効率良く且つ高い操作性でもって行う事が可能である。

Claim (excerpt)：

カンチレバーにより支持された導電性材料からなる探針と、該探針を電界放射源として試料表面に電子線を照射させる手段と、上記試料表面から発生する二次電子を検出並びに処理する手段を具備することを特徴とする原子間力顕微鏡装置。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28