ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999252685
Publication number (International publication number)：2000199958
Application date： Sep. 07, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】アルカリ現像可能で高感度な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)構造単位間の結合が一般式(1)で表されるような構造単位を主成分とするポリマーと(b)光酸発生剤を含有しており、光照射及びそれにつづく現像によってパターン形成可能であり、上記ポリマー1g中に含まれる全カルボキシル基が、0.02mmol以上2.0mmol以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基を示し、すべて水素であることはない。nは3から100000までの整数、mは1または2、p、qは0から4までの整数を示し、かつp+q>0である。)

Claim (excerpt)：

(a)構造単位間の結合が一般式(1)で表されるような構造単位を主成分とするポリマーと(b)光酸発生剤を含有しており、光照射及びそれにつづく現像によってパターン形成可能であり、上記ポリマー1g中に含まれる全カルボキシル基が、0.02mmol以上2.0mmol以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基を示し、すべて水素であることはない。nは3から100000までの整数、mは1または2、p、qは0から4までの整数を示し、かつp+q>0である。)

IPC (5)：

G03F 7/037 501 , C08L 79/08 , G03F 7/022 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/037 501 , C08L 79/08 A , G03F 7/022 , G03F 7/039 501 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

ポジ型感光性樹脂組成物及びレリーフパターンの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-339817 Applicant：日立化成工業株式会社
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-115526 Applicant：東レ株式会社
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-058177 Applicant：東レ株式会社

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