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J-GLOBAL ID：200903069116966196

直線的にアレイされたセンサエレメントを有する慣性センサ

Inventor： ジーン, ジョン エー.
Applicant, Patent owner： アナログ デバイシス, インコーポレイテッド
Agent (3)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007508588
Publication number (International publication number)：2007532917
Application date： Apr. 14, 2005
Publication date： Nov. 15, 2007
Summary：

慣性センサは直線的アレイに構成された少なくとも1対のセンサエレメントを含む。各センサエレメントはフレームおよびフレーム内に吊るされた可動質量を有する。センサエレメントの各対のフレームは、フレームが平行軸に沿って互いに逆位相で動くことを許されるが互いに同位相で動くことを実質的に妨げられるように結合され得る。本発明の一局面に従って、少なくとも1つの基板を有する慣性センサ、および、少なくとも1つの基板の上の実質的に平面内に直線的アレイに構成された少なくとも2対のセンサエレメントが提供される。

Claim (excerpt)：

少なくとも1つの基板と、 該少なくとも1つの基板の上方で実質的に平面内に直線的アレイに構成された少なくとも2対のセンサエレメントと、を備え、 各対のセンサエレメントは、第一のフレーム内に吊り下げられた第一の共振器を有する第一のセンサエレメントと、第二のフレーム内に吊り下げられた第二の共振器を有する第二のセンサエレメントと、を含み、 該フレームのすべては、該平面内の第一の軸に沿って実質的に整列され、各対の該フレームは、該第一の軸に垂直な平面内の平行な軸に沿って互いに逆位相で動くように構成される、 慣性センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

F-Term (7)：

2F105BB03 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-351552   Applicant：株式会社村田製作所
• 特許第6230563号