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J-GLOBAL ID：200903069122923911

ウエハ剥がし装置,及びウエハ剥がし方法

Inventor： 永井 豊
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 早瀬 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993315719
Publication number (International publication number)：1995169723
Application date： Dec. 16, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ウエハはがし時にウエハ割れ、及びウエハの位置ずれが発生しないウエハ剥がし装置,及びウエハ剥がし方法を得る。【構成】 先端にアーム側吸着部1を有した,所定方向に移動可能なアーム部2と、上部にウエハ4の形状に合わせて形成された,深さがウエハ4の厚さより深い凹部8が設けられたウエハ剥離台6とを備え、上記ガラス板3に貼り付けられたウエハ4を上記ウエハ剥離台6の凹部内に収容した状態で、上記ガラス板3を吸着保持するアーム部2を上記ウエハ剥離台6表面と平行に移動させて、上記ウエハ4をガラス板3から剥がすようにした。

Claim (excerpt)：

ワックスによりガラス板に貼り付けられたウエハを、該ガラス板から剥がすウエハ剥がし装置において、その先端に上記ガラス板を吸着可能な吸着保持部を有し、所定の方向に移動可能に構成されたアーム部と、その表面部分に上記ウエハの形状に合わせて形成された,深さがウエハの厚さより深い凹部を有し、上記凹部内にウエハを収容可能なウエハ剥離台とを備え、上記アーム部により上記ワックスによりウエハを貼り付けたガラス板を吸着保持し、該ガラス板に貼り付けられたウエハを上記ウエハ剥離台の凹部内に収容した状態で、上記ガラス板を吸着保持するアーム部を上記ウエハ剥離台表面と平行に移動させて、上記ウエハをガラス板から剥がすことを特徴とするウエハ剥がし装置。

IPC (3)：

H01L 21/304 321 ,  B23P 19/04 ,  B23Q 3/08