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J-GLOBAL ID：200903069129257232

光学部品製造装置およびこれを用いた光学部品製造方法ならびに光学部品さらにこの光学部品を用いたプロジェクションテレビ

Inventor： バレツト リツピー ,  下田 和人
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997285484
Publication number (International publication number)：1999119002
Application date： Oct. 17, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 生産性が良好な光学部品製造装置及びこれを用いた光学部品製造方法ならびに光学特性が良好な光学部品ならびにこの光学部品を用いたプロジェクションテレビを提供する。【解決手段】 ポリエチレンナフタレートなどの支持体3aを、送りロール4にセットして、送りロール4から巻き取りロール6の方向へ、ガイドロール5a、5b、5c、5d、5e、5fを経由して巻き取りロール6に巻き取るようにする。次に、Siのターゲットの蒸発源7aとNbのターゲットの蒸発源7bを交互にスパッタさせて、Arガスおよび酸素ガスの流量を調節しつつ、光学モニタ10により所定の透過率特性を満たすように膜厚を調整しつつ、予め光学設計された薄膜構成の光学薄膜のSiO2 とNb2 O5 を例えば10層づつ併せて20層形成する。

Claim (excerpt)：

少なくとも、支持体を巻着する送りロールと、前記送りロールから送出される前記支持体を巻き取る巻き取りロールと、前記送りロールと前記巻き取りロールとの間に光学薄膜原材料を蒸発させる蒸発手段とを具備し、前記支持体を前記送りロールから前記巻き取りロールに送りつつ、減圧雰囲気中で前記蒸発手段により前記光学薄膜原材料を蒸発させ、前記支持体上に光学薄膜を形成することを特徴とする光学部品製造装置。

IPC (5)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/08 ,  G02B 5/08

FI (5)：

G02B 1/10 A ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/08 N ,  G02B 5/08 C