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J-GLOBAL ID:200903069144312851

ラミノグラフ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 則近 憲佑
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993299197
Publication number (International publication number):1995153803
Application date: Nov. 30, 1993
Publication date: Jun. 16, 1995
Summary:
【要約】【目的】 ピント面のみによくピントが合うラミノグラフを提供する。【構成】 X線管1と放射線検出器であるX線II4を結ぶ中心線に対して角度αの傾きを持つ回転軸に対して回転機構6により回転テーブル5を回転させて被検体3とX線管1およびX線II4の組との間に相対的回転運動を与え、この回転運動の間にX線II4の出力を複数の透過画像としてデータ収集装置7で収集し、被検体内のピント面上に並んだ複数のピント点のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上での画像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る。
Claim (excerpt):
放射線を発生し、被検体に向けて放出する放射線源と、被検体を透過した放射線を実質的に2次元の空間分解能をもって検出する2次元放射線検出器と、前記放射線源と前記放射線検出器を結ぶ中心線に対して所定の角度の傾きを持つ回転軸に対して被検体と前記放射線源および前記放射線検出器の組との間に相対的回転運動を与える回転手段と、前記回転運動の間に前記放射線検出器の出力を複数の透過画像として収集するデータ収集手段と、被検体内に設定したピント面上に並んだ複数のピント点のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上での画像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る画像処理手段とを有することを特徴とするラミノグラフ。
IPC (2):
H01L 21/66 ,  H05K 3/46

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