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J-GLOBAL ID：200903069167565412
ウェハ搬送制御方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995133265
Publication number (International publication number)：1996330379
Application date： May. 31, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】 枚葉処理を行うマルチチャンバ半導体装置において、複数品種のウェハを処理する場合に、全体の処理が終了するリ-ドタイムを短くすること。【構成】 ウェハカセットに収納されたウェハの品種に対応した工程を決定する第1工程と、この第1工程で決定された工程で使用するチャンバを決定する第2工程と、この第2工程で決定されたチャンバを使用中に設定する第3工程とを具備し、ウェハカセットに収納されている複数品種のウェハに対して上記第1乃至第3工程を行って、ウェハカセットに複数品種のウェハが収納されている場合に使用するチャンバを決定するようにしている。
Claim (excerpt)：
ウェハカセットに収納されたウェハの品種に対応した工程を決定する第1工程と、この第1工程で決定された工程で使用するチャンバを決定する第2工程と、この第2工程で決定されたチャンバを使用中に設定する第3工程とを具備し、ウェハカセットに収納されている複数品種のウェハに対して上記第1乃至第3工程を行って、ウェハカセットに複数品種のウェハが収納されている場合に使用するチャンバを決定するようにしたことを特徴とするウェハ搬送制御方法。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B01J 19/00
, H01L 21/02
H01L 21/68 A
, B01J 19/00 J
, H01L 21/02 Z
