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J-GLOBAL ID：200903069168086259
ポジ型感光性組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993018793
Publication number (International publication number)：1994230574
Application date： Feb. 05, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：
【要約】【目的】 高い感光性を有しかつ広範囲の波長光での使用が可能なポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 (a)下記一般式(I)で示されるエノールエーテル基を少なくとも2個有する化合物、(b) 酸基を有する線状高分子、及び(c) 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物、を含有し、かつ(a)成分と(b)成分とが熱により架橋されていることを特徴とするポジ型感光性組成物。 (R2)(R1)C=C(R3)-O- (I)式中、R1 、R2 及びR3 は水素、アルキル基又はアリール基を表し、同一もしくは異なっていてもよい。また、それらの内の2つが結合して飽和又はオレフィン性不飽和の環を形成してもよい。
Claim (excerpt)：
(a)下記一般式(I)で示されるエノールエーテル基を少なくとも2個有する化合物、(b) 酸基を有する線状高分子、及び(c) 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物、を含有し、かつ(a)成分と(b)成分とが熱により架橋されていることを特徴とするポジ型感光性組成物。 (R2)(R1)C=C(R3)-O- (I)式中、R1 、R2 及びR3 は水素、アルキル基又はアリール基を表し、同一もしくは異なっていてもよい。また、それらの内の2つが結合して飽和又はオレフィン性不飽和の環を形成してもよい。
IPC (7)：
G03F 7/039 501
, G03F 3/10
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, G03F 7/38 501
, H01L 21/027
